PI/BCB固化真空無氧烘箱操作方法

開機前注意檢查，循環(huán)水是否打開（壓力足夠），氮氣閥門是否打開（壓力足夠）

1.打開設備電源開關，人機界面啟動；

2.在人機界面參數(shù)設定中編輯需求工藝；

3.返回主界面，選擇工藝序號；

4.選擇程式運行，確認運行；

5.程序運行結(jié)束，打開箱門，拿出產(chǎn)品

6.關閉箱門。

PI/BCB固化真空無氧烘箱適用工藝：

    PI固化厭氧烤箱用于用于PI/BCB/LCP固化，半導體封裝等，也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影等。

PI/BCB固化真空無氧烘箱技術性能：

內(nèi)腔尺寸：3500*350*350/自定義

溫度范圍：RT+30～450℃；  

溫度波動度：±1℃；        

控精度：0.1℃;

氧濃度：10ppm

真空度：100pa

降溫方式：快速降溫

操作方式：人機界面，智能型一鍵運行；

內(nèi)膽材料:采用 #304鏡面不銹鋼制作；

外殼材料：采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑；

置換氣體：氮氣；

電源：380v/50Hz，5KW；

支撐裝置：腳杯和萬向輪；

廠商品牌：雋思。

高溫無氧烘箱，潔凈烘箱，HMDS真空烤箱，硅烷蒸鍍機，無塵無氧烤箱，氮氣烤箱，超低溫試驗箱，快溫變試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，高低溫沖擊試驗箱等設備，以及非標定制。---上海雋思儀器專業(yè)生產(chǎn)/服務！